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jue對壓力計(jì)的讀數(shù)，是對被測壓力的氣體在單位面積上作用力的度量。根據(jù)氣體分子動(dòng)力理論，這種作用力只決定于單位體積內(nèi)的分子數(shù)和它們的溫度,與氣體分子的質(zhì)量無關(guān),即jue對壓力計(jì)的讀數(shù)與氣體種類無關(guān)。
薄膜電容真空計(jì)是一種全壓力真空計(jì),其讀數(shù)與氣體種類無關(guān)?？勺x測混有蒸氣的混合氣體，且具有結(jié)構(gòu)簡單的特點(diǎn)。雖然它在電子學(xué)方面是復(fù)雜的，但其機(jī)械上的簡單結(jié)構(gòu)和對任何環(huán)境的適應(yīng)性，英?？嫡婵沼?jì)維修中心，使它成為非常有用的真空計(jì)之一。薄膜電容真空計(jì)的zui小位移可以小至 1nm，因此由溫度變化引起部件的形變，就成為一個(gè)十分重要的問題。為了能使真空計(jì)穩(wěn)定地工作，要求膜片的熱膨脹系數(shù)與電極組件的熱膨脹系數(shù)能很好的匹配。英?？嫡婵沼?jì)維修中心
薄膜電容規(guī)這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。英?？嫡婵沼?jì)維修中心
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定電流式燈絲的溫度會(huì)隨著真空壓力的變化而變化，由于燈絲為高電阻溫度系數(shù)材料，燈絲的溫度的改變會(huì)導(dǎo)致燈絲電阻值發(fā)生變化，以電阻電橋的感測方式來測定電阻的改變就可以證明出真空壓力的變化。
參考感測頭有著與感測頭極為相似的構(gòu)造，但其內(nèi)部已抽至相當(dāng)高的真空狀態(tài)并加以密封，并盡可能接近于感測頭感測壓力的位置，有著環(huán)境溫度補(bǔ)償?shù)淖饔谩ｋ姌虻牧硪贿叞错樞蛴兄豢勺冸娮鑂1和固定電阻R2。該電橋并聯(lián)與一電源上，并在兩個(gè)感應(yīng)頭間和兩個(gè)電阻間接駁一個(gè)平衡電流表G。
真空計(jì)一般分為兩部分:
感應(yīng)頭:多為金屬或者玻璃外殼，內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或者其他感溫元件。
控制頭:為感應(yīng)頭提供必須的電路和做信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。
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熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。
熱陰極電離規(guī)這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。
背壓法檢測優(yōu)點(diǎn)：
1. 檢測靈敏度高
2. 可以進(jìn)行批量化檢測
吸qiang法檢測缺點(diǎn)：
1. 不能進(jìn)行大型密封容器的漏
2. 在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能
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